[15p-K503-1~15] 6.1 Ferroelectric thin films

2:30 PM - 2:45 PM JST(5:30 AM - 5:45 AM UTC)

[15p-K503-7] Piezoelectric properties of Nb-dope of epitaxial Pb(Zr,Ti)O₃ thin films

〇Naoto Yamamoto¹, Sang Hyo Kweon¹, Isaku Kanno¹ (1.Kobe Univ.)

Keywords:

piezoelectric property,ferroelectric properties,Nb-doping

PZTのBサイトを一部Nbに置換することによって、圧電性および長期信頼性が向上することが報告されている。しかしながら、Nb添加による結晶構造の変化と圧電性の関係については不明な点が多い。本研究では、Si基板上に形成したc軸配向エピタキシャルPZT薄膜にNbを添加し、その結晶構造と強誘電性および圧電性の関係を調べた。