[15p-P02-1~17] 3.7 Optical measurement, instrumentation, and sensor

[15p-P02-1] Experimental demonstration of generation of long-period interference fringe due to envelope of amplitude modulated wave by double heterodyne interferometer

〇(B)Taiki Tanaka¹, Kotaro Kawai¹ (1.Kobe City College of Tech.)

Keywords:

optical measurement,heterodyne interference,thickness measurement

本研究では、先行研究にて提案された、数nmから数mmでの膜厚測定が可能なダブルヘテロダイン干渉系の実験実証を目的とする。本方法では波長が異なる2光波を同軸干渉させることで振幅変調波を生成し、それらを軸外干渉させることで生じる長周期の干渉縞を利用して測定対象の膜厚を測定する。本発表では振幅変調波の軸外干渉に起因した干渉縞の測定結果及び振幅変調波に起因していることを示す検証結果について発表を行う。