講演情報
[15p-P02-1]ダブルヘテロダイン干渉光学系による振幅変調波包絡線に起因した長周期干渉縞生成の実験実証
〇(B)田中 大貴1、河合 孝太郎1 (1.神戸市立高専)
キーワード：
光計測、ヘテロダイン干渉、膜厚計測
本研究では、先行研究にて提案された、数nmから数mmでの膜厚測定が可能なダブルヘテロダイン干渉系の実験実証を目的とする。本方法では波長が異なる2光波を同軸干渉させることで振幅変調波を生成し、それらを軸外干渉させることで生じる長周期の干渉縞を利用して測定対象の膜厚を測定する。本発表では振幅変調波の軸外干渉に起因した干渉縞の測定結果及び振幅変調波に起因していることを示す検証結果について発表を行う。