[16a-K205-1~6] 16.2 Energy Harvesting

10:00 AM - 10:15 AM JST(1:00 AM - 1:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[16a-K205-5] Evaluation of Self-Assembled Electrets formed in Micro-Cavity Structures

〇Yuichiro Sunagawa¹, Ruichen Li¹, Kyoichi Kakuno¹, Satoru Hosoi¹, Yuya Tanaka², Daisuke Yamane¹ (1.Ritsumeikan Univ., 2.Gunma Univ)

Keywords:

Vibrational Energy Harvester,Self-Assembled Electret,Micro-Cavity Structure

静電型MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）環境振動発電素子（VEH: Vibrational Energy Harvester）は、小型無線センサ端末の自立電源応用等に向けて有用である。近年、当研究グループは、荷電処理が一切不要な自己組織化エレクトレット（SAE: Self-Assembled Electret）を用いてMEMS VEHを実現した。また、SAE MEMS-VEHの設計最適化に向け、新たに微細キャビティ構造（MC: Micro-Cavity）を提案した。本研究では、MCに成膜したSAEについて、シミュレーション、及び評価チップを用いた実験結果を報告する。