[16a-K205-1~6] 16.2 エナジーハーベスティング

10:00 〜 10:15奨励賞エントリー

[16a-K205-5] 微細キャビティ構造に形成した自己組織エレクトレットの評価

〇砂川 優一朗¹、李 睿宸¹、角野 響一¹、細井 覚¹、田中 有弥²、山根 大輔¹ (1.立命館大、2.群馬大)

キーワード：

MEMS振動発電素子、自己組織化エレクトレット、微細キャビティ構造

静電型MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）環境振動発電素子（VEH: Vibrational Energy Harvester）は、小型無線センサ端末の自立電源応用等に向けて有用である。近年、当研究グループは、荷電処理が一切不要な自己組織化エレクトレット（SAE: Self-Assembled Electret）を用いてMEMS VEHを実現した。また、SAE MEMS-VEHの設計最適化に向け、新たに微細キャビティ構造（MC: Micro-Cavity）を提案した。本研究では、MCに成膜したSAEについて、シミュレーション、及び評価チップを用いた実験結果を報告する。