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[16a-K207-2]Graphene/hexagonal boron nitride/graphene heterojunction deep ultraviolet detectors

〇Shoichiro Fukushima1, Satoru Fukamachi2, Masaaki Shimatani1, Manabu Iwakawa1, Hiroki Ago2, Shinpei Ogawa1 (1.Mitsubishi Electric Corp., 2.Kyushu Univ.)

Keywords:

graphene,hexagonal boron nitride,deep ultraviolet

光ゲート効果は光増感材料の電気特性変化を用いる、グラフェン光検出器の有効な高感度化手法である。我々はこれまでに、深紫外領域において六方晶窒化ホウ素 (h-BN) を用いて光ゲート効果を発現させた高感度深紫外検出器について報告している。本研究ではグラフェンでh-BNを挟み込んだヘテロ接合型の深紫外検出器について報告する。
h-BNの下部と上部それぞれにグラフェン電界効果トランジスタ (GFET) を形成した。
波長260 nmの深紫外光への応答を評価したところ、ゲート電圧をh-BN経由で印加する上部GFETでのみ、明瞭な深紫外光応答を測定できたことから、h-BNによる光ゲート効果の発現を確認した。

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