Presentation Information

[16a-K308-2]Electrical and Optical Properties Evaluation of AZO Thin Film Deposited by RF Magnetron Sputtering.

〇Tatsumi Nakamura1, Minowa Takuya1, Yokogawa Ryo2,3,4, Lee Hyunju5, Ohshita Yoshio5, Ogura Atsushi1,2 (1.Meiji Univ., 2.MREL., 3.RISE, Hiroshima Univ., 4.Grad. School of Adv. Sci. and Eng., Hiroshima Univ., 5.Toyota Tech. Inst.)

Keywords:

Transparent Conductive Oxide,Al-doped ZnO,PVSK/SHJ Tandem solar cell

本研究では、PVSK/SHJ型タンデム太陽電池の中間層TCOへの応用を目的に、RFスパッタリング法により低温製膜したAZOの電気特性及び光学特性を評価した。結果、成膜条件を適切に調整することで、中間層TCOに応用可能な程度の電子移動度、従来使用されてきたITOを大幅に上回る近赤外線透過率を持つことが示唆され、PVSK/SHJ太陽電池の中間層TCOへの応用が期待される結果となった。

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