[16a-K308-1~9] 16.3 シリコン系太陽電池

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[16a-K308-2] RFマグネトロンスパッタリング法を用いたAZO薄膜の電気及び光学特性評価

〇中村 竜海¹、箕輪 卓哉¹、横川 凌^2,3,4、Lee Hyunju⁵、大下 祥雄⁵、小椋 厚志^1,2 (1.明治大理工、2.明大MREL、3.広島大RISE、4.広島大院先進理工、5.豊田工大)

キーワード：

透明導電膜、AZO、PVSK/SHJタンデム太陽電池

本研究では、PVSK/SHJ型タンデム太陽電池の中間層TCOへの応用を目的に、RFスパッタリング法により低温製膜したAZOの電気特性及び光学特性を評価した。結果、成膜条件を適切に調整することで、中間層TCOに応用可能な程度の電子移動度、従来使用されてきたITOを大幅に上回る近赤外線透過率を持つことが示唆され、PVSK/SHJ太陽電池の中間層TCOへの応用が期待される結果となった。