[16a-K401-1~9] 15.4 III-V-group nitride crystals

11:00 AM - 11:15 AM JST(2:00 AM - 2:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[16a-K401-8] Crack suppression in AlN templates on sapphire substrates and LED yield improvement

〇Hibiki Muto¹, Tomoaki Kachi¹, Teppei Takehisa¹, Ryunosuke Oka¹, Sena Miura¹, Hisanori Ishiruro¹, Tetsuya Takeuchi¹, Satoshi Kamiyama¹, Motoaki Iwaya¹, Koji Okuno², Yoshiki Saito² (1.Meijo Univ, 2.TOYODA GOSEI Co.,Ltd)

Keywords:

AlN templates,AlGaN LED

深紫外LED作製に必要なサファイア基板上AlNテンプレートにおいて、我々はこれまでに2種類の異なる成長工程を報告してきた。今回、2種類の異なる成長行程を組み合わせたAlNテンプレートを作製し、その上に高い歩留まりで同等の特性を有するLEDを実現したので報告する。