講演情報
[16a-K401-8]サファイア基板上AlNテンプレートにおけるクラック抑制とLEDの歩留まり改善
〇武藤 響己1、可知 朋晃1、竹久 哲平1、岡 龍之介1、三浦 聖央1、石黒 永孝1、竹内 哲也1、上山 智1、岩谷 素顕1、奥野 浩司2、齋藤 義樹2 (1.名城大、2.豊田合成株式会社)
キーワード：
AlNテンプレート、AlGaN LED
深紫外LED作製に必要なサファイア基板上AlNテンプレートにおいて、我々はこれまでに2種類の異なる成長工程を報告してきた。今回、2種類の異なる成長行程を組み合わせたAlNテンプレートを作製し、その上に高い歩留まりで同等の特性を有するLEDを実現したので報告する。