[16p-K305-1~16] 3.13 Silicon photonics, Photonics-electronics convergence, Optical control

5:15 PM - 5:30 PM JST(8:15 AM - 8:30 AM UTC)

[16p-K305-14] Light Propagation through Waveguide with Grating Couplers Fabricated on Thin Film Lithium Niobate

〇Shoji Hachuda¹, Ryoichi Yoshida¹, Ryosei Kitahara¹, Toshihiko Baba¹ (1.Yokohama Nat'l Univ.)

Keywords:

Thin film LiNbO3,Fabrication,Grating coupler

LNは大きな電気光学効果，非線形効果，圧電効果，広帯域での光学透明性などの特長を有する．薄膜LNを利用すると，高い光閉じ込めによる効果の増大とデバイスの小型化を実現できる．前回はICPドライエッチングの条件を最適化し，低ガス圧でのArプラズマによる高いエッチングレートの実現と初期的な光デバイスの製作を報告した．今回はこのプロセスを用いてグレーティングカプラ付きリブ型導波路を製作し，光伝搬を確認した．