講演情報
[16p-K305-14]薄膜ニオブ酸リチウム上に製作したグレーティングカプラ付き導波路での光伝搬
〇羽中田 祥司1、吉田 凌一1、北原 凌成1、馬場 俊彦1 (1.横国大院工)
キーワード：
薄膜ニオブ酸リチウム、製作、グレーティングカプラ
LNは大きな電気光学効果，非線形効果，圧電効果，広帯域での光学透明性などの特長を有する．薄膜LNを利用すると，高い光閉じ込めによる効果の増大とデバイスの小型化を実現できる．前回はICPドライエッチングの条件を最適化し，低ガス圧でのArプラズマによる高いエッチングレートの実現と初期的な光デバイスの製作を報告した．今回はこのプロセスを用いてグレーティングカプラ付きリブ型導波路を製作し，光伝搬を確認した．