[16p-K403-1~13] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

3:00 PM - 3:15 PM JST(6:00 AM - 6:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[16p-K403-8] Improvement of Contact Characteristic in CMOS-Graphene Integrated Molecular Sensor

〇Kosuke Sato¹, Shuei Iwasaki¹, Yasufumi Yokoshiki², Takeshi Watanabe², Shinji Koh², Takashi Tokuda¹ (1.Science Tokyo Inst., 2.Aoyama Gakuin Univ.)

Keywords:

graphene,biosensor

グラフェンは炭素が蜂の巣状に結合した2次元物質であり、外部環境や吸着物質に対して鋭敏な特性変化を示し、また、化学修飾により分子選択性を付与できることから高性能センサ材料として注目されている。我々は、CVDで形成したグラフェンをCMOSチップ上に転写し、高機能なCMOS-グラフェン集積センサの実現を目指している。今回、Auめっきによるグラフェンと電極の接続性の改善を行ったので報告する。