[16p-K403-1~13] 12.7 医用工学・バイオチップ

15:00 〜 15:15奨励賞エントリー

[16p-K403-8] CMOS-グラフェン集積センサのAuめっき電極による接続性改善

〇佐藤 光翼¹、岩崎 秀栄¹、横式 康史²、渡辺 剛志²、黄 晋二²、德田 崇¹ (1.科学大工、2.青学大)

キーワード：

グラフェン、バイオセンサ

グラフェンは炭素が蜂の巣状に結合した2次元物質であり、外部環境や吸着物質に対して鋭敏な特性変化を示し、また、化学修飾により分子選択性を付与できることから高性能センサ材料として注目されている。我々は、CVDで形成したグラフェンをCMOSチップ上に転写し、高機能なCMOS-グラフェン集積センサの実現を目指している。今回、Auめっきによるグラフェンと電極の接続性の改善を行ったので報告する。