[16p-K504-1~15] 6.4 Thin films and New materials

4:15 PM - 4:30 PM JST(7:15 AM - 7:30 AM UTC)

[16p-K504-13] Preparation of Free-standing thin film of Li_6.5La₃Zr_1.5Ta_0.5O₁₂ epitaxially grown by LPE

〇Takahiko Kawaguchi¹, Mayu Moriya¹, Naonori Sakamoto¹, Naoki Wakiya¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:

Li-ion solid electrolyte,Liquid phase epitaxy,epitaxial thin film

酸化物全固体Liイオン電池の実用化のために、ガーネット型固体電解質Li_6.5La₃Zr_1.5Ta_0.5O₁₂（LLZTO）が注目されている。高出力化には電解質層は薄い膜厚の方が有利であり、プロセス上自立膜であることが求められる。そのような中、我々はLiOHフラックスを用いたLPE法に着目し、ガーネット構造を有するGGG基板上へのLLZTOエピタキシャル薄膜の作製に成功している。これを自立化できれば、数百nm程度かつ単結晶並みのイオン伝導率を有するLLZTO自立膜が期待できると考えられる。今回、簡易的な剥離法を用いてLLZTOエピタキシャル薄膜の自立化に成功したので報告する。