講演情報
[16p-K504-13]LPE法により作製したLi6.5La3Zr1.5Ta0.5O12エピタキシャル薄膜の自立化の試み
〇川口 昂彦1、森谷 真夕1、坂元 尚紀1、脇谷 尚樹1 (1.静大院工)
キーワード：
Liイオン固体電解質、LPE、エピタキシャル薄膜
酸化物全固体Liイオン電池の実用化のために、ガーネット型固体電解質Li6.5La3Zr1.5Ta0.5O12（LLZTO）が注目されている。高出力化には電解質層は薄い膜厚の方が有利であり、プロセス上自立膜であることが求められる。そのような中、我々はLiOHフラックスを用いたLPE法に着目し、ガーネット構造を有するGGG基板上へのLLZTOエピタキシャル薄膜の作製に成功している。これを自立化できれば、数百nm程度かつ単結晶並みのイオン伝導率を有するLLZTO自立膜が期待できると考えられる。今回、簡易的な剥離法を用いてLLZTOエピタキシャル薄膜の自立化に成功したので報告する。