[16p-K504-1~15] 6.4 Thin films and New materials

1:15 PM - 1:30 PM JST(4:15 AM - 4:30 AM UTC)

[16p-K504-2] [INVITED] Theoretical study of the TMIn decomposition reaction process in InN MOVPE growth.

〇Yuya Nagashima¹, Hirotaka Watanabe², Shugo Nitta², Akira Kusaba³, Yoshihiro Kangawa³, Kenji Shiraishi^1,2 (1.Grad School of Eng., Nagoya Univ., 2.IMass, Nagoya Univ., 3.RIAM, Kyusyu Univ.)

Keywords:

III-V semiconductor,MOVPE

本研究は、第一原理計算を用いてIn(CH₃)₃の分解反応経路を明らかにした。さらに、実験データを計算に取り込みデータ同化を行うことで、実験結果とよく対応した尤もらしい分解速度が計算できることが明らかになった。