講演情報
[16p-K504-2][分科内招待講演] InN MOVPE成長におけるTMIn分解反応過程の理論的研究
〇長嶋 佑哉1、渡邉 浩崇2、新田 州吾2、草場 彰3、寒川 義裕3、白石 賢二1,2 (1.名大院工、2.名大未来研、3.九大応力研)
キーワード：
Ⅲ-Ⅴ族半導体、MOVPE
本研究は、第一原理計算を用いてIn(CH₃)₃の分解反応経路を明らかにした。さらに、実験データを計算に取り込みデータ同化を行うことで、実験結果とよく対応した尤もらしい分解速度が計算できることが明らかになった。