[16p-K506-1~19] 3.6 Laser processing

6:00 PM - 6:15 PM JST(9:00 AM - 9:15 AM UTC)

[16p-K506-18] Droplet-free hydroxyapatite coating by pulsed-laser deposition

〇Hidehiko Yashiro¹, Hiroshi Takashima¹, Hideki Ohmura¹, Masayuki Kakehata¹, Daisuke Kawagoe² (1.AIST-RIAEP, 2.Oyama College)

Keywords:

Pulsed-Laser Deposition,Hydroxyapatite,Bandgap

PLD成膜において液滴の発生は成膜の品質を下げる。そのため、液滴除去の方法が適応されるが成膜レートを下げる。アブレーションレーザーの選択で液滴が出ない成膜が実現できれば問題の解決につながる。そのため、ターゲット材料のハイドロキシアパタイト及び3リン酸カルシウムの光学特性、バンドギャップを評価し、Nd:YAGレーザー第４高調波、ArFエキシマレーザーの２種類の波長の異なるレーザーでのアブレーション粒子を評価した。その結果、ターゲット材のバンドギャップと同等の光子エネルギーをもつArFエキシマレーザーでは液滴が放出せず、光子エネルギーの低いNd:YAGレーザーでは必ず液滴が放出する結果が得られた。