[16p-K506-1~19] 3.6 Laser processing

1:15 PM - 1:30 PM JST(4:15 AM - 4:30 AM UTC)

[16p-K506-2] Fabrication of laser-induced periodic surface structures (LIPSS) on transparent material by laser-induced plasma-assisted ablation (LIPAA) and its fundamental characteristics

〇Daimon Iwasaki¹, Muma Miura¹, Koshi Kudo¹, Sohei Yamada¹, Kotaro Obata², Koji Sugioka², Yasutaka Hanada¹ (1.Hirosaki Univ., 2.RIKEN)

Keywords:

laser-induced plasma-assisted ablation (LIPAA),laser-induced periodic surface structures (LIPSS),nanosecond laser

我々はレーザー生成プラズマ支援アブレーション(LIPAA : Laser-Induced Plasma-Assisted Ablation)を用いた透明材料上へのLIPSS(LIPSS : Laser-Induced Periodic Surface Structure)作製を行った。本手法は、ナノ秒レーザーを金属ターゲットと透明材料基板の境界面に照射することで、透明材料裏面をマイクロ加工し、更に金属薄膜を加工領域上に堆積する。LIPAAによるLIPSS作製はこれまで未解明であったことから、パルスエネルギー、パルス数、基板間距離を変えて加工基本特性を調査し、加工原理について考察した。