講演情報
[16p-K506-2]レーザー誘起プラズマ支援アブレーション(LIPAA)による透明材料基板上へのLIPSS形成とその加工基本特性
〇岩崎 大門1、三浦 矛巧1、工藤 孝臣1、山田 壮平1、小幡 孝太郎2、杉岡 幸次2、花田 修賢1 (1.弘前大学、2.理研)
キーワード：
レーザー誘起プラズマ支援アブレーション(LIPAA)、レーザー誘起周期表面構造(LIPSS)、ナノ秒レーザー
我々はレーザー生成プラズマ支援アブレーション(LIPAA : Laser-Induced Plasma-Assisted Ablation)を用いた透明材料上へのLIPSS(LIPSS : Laser-Induced Periodic Surface Structure)作製を行った。本手法は、ナノ秒レーザーを金属ターゲットと透明材料基板の境界面に照射することで、透明材料裏面をマイクロ加工し、更に金属薄膜を加工領域上に堆積する。LIPAAによるLIPSS作製はこれまで未解明であったことから、パルスエネルギー、パルス数、基板間距離を変えて加工基本特性を調査し、加工原理について考察した。