[16p-K507-1~14] CS.1 Code-sharing Session of 2.3 & 7.4

3:30 PM - 3:45 PM JST(6:30 AM - 6:45 AM UTC)

[16p-K507-8] The study of confirmation method for ion beam energy using reference materials on ¹⁴N(α,p₀)¹⁷O NRA measurement

〇Naoko Matsunoo¹, Masahiro Saito¹ (1.Toray Research Center)

Keywords:

RBS

¹⁴N(α,p₀)¹⁷Oを使ったNRA(Nuclear Reaction Analysis, 核反応分析)は薄膜中のNを高感度で定量できるため、RBSの弱点を補完する方法として産業界で活用されている。この反応の断面積^[1]はFig.1に示すようにピーク状をしているため、正確な定量には入射α粒子のエネルギーの正確さが必要になる。エネルギーを確認する方法としては¹⁶O(α,α)¹⁶O等を利用するのが一般的^[2]であるが、これらの方法はエネルギーを走査するため手間がかかる。そこで我々は¹⁴N(α,p₀)¹⁷O測定で走査せずにエネルギーを確認する方法を検討したので報告する。