[16p-K507-1~14] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェア

15:30 〜 15:45

[16p-K507-8] ¹⁴N(α,p₀)¹⁷O NRAでの参照試料を用いた入射エネルギー確認方法の検討

〇松野尾 尚子¹、齋藤 正裕¹ (1.㈱東レリサーチセンター)

キーワード：

RBS

¹⁴N(α,p₀)¹⁷Oを使ったNRA(Nuclear Reaction Analysis, 核反応分析)は薄膜中のNを高感度で定量できるため、RBSの弱点を補完する方法として産業界で活用されている。この反応の断面積^[1]はFig.1に示すようにピーク状をしているため、正確な定量には入射α粒子のエネルギーの正確さが必要になる。エネルギーを確認する方法としては¹⁶O(α,α)¹⁶O等を利用するのが一般的^[2]であるが、これらの方法はエネルギーを走査するため手間がかかる。そこで我々は¹⁴N(α,p₀)¹⁷O測定で走査せずにエネルギーを確認する方法を検討したので報告する。