[16p-P04-1~20] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[16p-P04-8] Establishing Room-Temperature Dry Etching Technology for Metal-Organic Framework

〇Momoka Muraoka¹, Kaito Koseki¹, Yumeng Zheng¹, Kentaro Kinoshita¹ (1.Tokyo Univ. of Sci.)

Keywords:

MOF,FIB,SEM

近年、金属有機構造体（MOF）が新規材料として注目されている。MOFのデバイス応用に向けて、MOFにイオン液体（IL）を導入したIL@MOFの集束イオンビーム（FIB）装置を用いた室温微細加工を行い、走査型電子顕微鏡（SEM）で観察を行った。本公演では、IL導入の有無による加工領域の形状変化やIL種による加工特性について説明する。