[16p-P04-1~20] 12.1 作製・構造制御

[16p-P04-8] 金属有機構造体の室温ドライエッチング技術の確立

〇村岡 もも香¹、小関 海斗¹、鄭 雨萌¹、木下 健太郎¹ (1.東理大先進工)

キーワード：

金属有機構造体、集束イオンビーム、走査型電子顕微鏡

近年、金属有機構造体（MOF）が新規材料として注目されている。MOFのデバイス応用に向けて、MOFにイオン液体（IL）を導入したIL@MOFの集束イオンビーム（FIB）装置を用いた室温微細加工を行い、走査型電子顕微鏡（SEM）で観察を行った。本公演では、IL導入の有無による加工領域の形状変化やIL種による加工特性について説明する。