[16p-P09-1~15] 6.2 Carbon-based thin films

[16p-P09-10] Development of QCM-type hydrogen gas sensor with DLC film

〇Osuke Uemura¹, Yasushi Ishiguro², Kazuya Kanasugi¹, Takashi Tachiki², Kenji Hirakuri¹ (1.Tokyo Denki Univ., 2.National Defense Acad.)

Keywords:

diamond like carbon,hydrogen gas sensor,quartz crystal microbalance

安全な水素社会を実現するためには、水素ガス漏洩を迅速かつ正確に検知できるセンサが必要不可欠である。我々は、貴金属を使用せず、室温で動作可能な新しい水素ガスセンサの開発に取り組んでいる。本研究では、水晶振動子マイクロバランス (QCM) 法に着目し、水素分子吸着膜として、資源が豊富なダイヤモンド状炭素膜 (DLC) の適用を試みた。