講演情報
[16p-P09-10]DLC膜を用いたQCM型水素ガスセンサの開発
〇植村 皇介1、石黒 康志2、金杉 和弥1、立木 隆2、平栗 健二1 (1.東京電機大、2.防衛大)
キーワード：
ダイヤモンド状炭素膜、水素ガスセンサ、水晶振動子マイクロバランス法
安全な水素社会を実現するためには、水素ガス漏洩を迅速かつ正確に検知できるセンサが必要不可欠である。我々は、貴金属を使用せず、室温で動作可能な新しい水素ガスセンサの開発に取り組んでいる。本研究では、水晶振動子マイクロバランス (QCM) 法に着目し、水素分子吸着膜として、資源が豊富なダイヤモンド状炭素膜 (DLC) の適用を試みた。