[16p-P09-1~15] 6.2 Carbon-based thin films

[16p-P09-8] NEXAFS analysis of fluorocarbon thin films synthesized at cryogenic temperature.

〇Hiroki Kitahara¹, Takumi Kanno¹, Yuichiro Shiozawa², Tetsuya Sato¹ (1.Nashi Univ, 2.Yamanashi Industrial. Tech. Cent)

Keywords:

amorphous carbon,cryogenic temperature,NEXAFS

我々は水素化非晶質カーボン (a-C:H)やフッ素含有非晶質カーボン (a-C:F)を極低温下で成膜し、化学結合状態、光学定数等およびNEXAFS測定から得られたsp² / (sp² + sp³)値の相関等の諸物性を明らかにしてきた)。今回、ジフルオロメタン (CH₂F₂)にTMS (テトラメルシラン、Si(CH₃)₄)を添加し、a-C:Fのsp² / (sp² + sp³)値のSi濃度依存性について検討した。C-K吸収端およびSi-L吸収端全電子収量法 (TEY)、全蛍光収量法 (TFY)およびオージェ電子収法(AEY)により測定した。