[16p-P10-1~10] 6.5 Surface Physics, Vacuum

[16p-P10-10] Development of UHV Transfer Case for Sample Transport Using NEG Coating

〇Yuko Morohashi¹, Junichiro Kamiya¹, Keiichi Warigai², Kenichi Takeishi^1,2, Masaaki Kobata¹, Akitaka Yoshigoe¹, Yasutaka Tsuda¹, Tatsuo Fukuda¹, Ippei Yamada¹, Daisuke Chiba¹ (1.JAEA, 2.ULVAC TECHNO,Ltd)

Keywords:

UHV transfer case,NEG Coating,no battery

J-PARCで開発したNEGコーティング技術を応用し、電源不要で超軽量・コンパクトな資料輸送用トランスファーケースを開発した。模擬サンプルを用いた輸送試験では、酸化を防ぎ、半導体材料の表面状態を維持できることを確認した。