講演情報
[16p-P10-10]NEGコーティングを利用した試料輸送用超高真空トランスファーケースの開発
〇諸橋 裕子1、神谷 潤一郎1、割貝 敬一2、武石 健一1,2、小畠 雅明1、吉越 章隆1、津田 泰孝1、福田 竜生1、山田 逸平1、千葉 大輔1 (1.原子力機構、2.アルバックテクノ)
キーワード：
超高真空トランスファーケース、NEGコーティング、ノーバッテリー
J-PARCで開発したNEGコーティング技術を応用し、電源不要で超軽量・コンパクトな資料輸送用トランスファーケースを開発した。模擬サンプルを用いた輸送試験では、酸化を防ぎ、半導体材料の表面状態を維持できることを確認した。