[16p-P11-1~13] 6.6 Probe Microscopy

[16p-P11-10] A Study on Breakdown Voltage and Its Correlation with Surface Topography Using Conductive AFM

〇(B)JINHYUN CHUN¹, Kei Kobayashi¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:

silicon oxide,semiconductor

本研究では、Si 酸化膜を主たる対象とし、導電性AFM を用いた局所的絶縁耐圧分布の測定システムを構築した。講演では、本システムを用いた実験結果、さらに絶縁耐圧分布と表面形状との相関について考察した結果について報告する。