[17a-K303-1~11] 8.1 Plasma production and diagnostics

9:45 AM - 10:00 AM JST(12:45 AM - 1:00 AM UTC)

[17a-K303-4] Electron temperature, electron density, EUV power, and ion energy distribution measurements of laser-produces EUV light source plasmas

〇Kentarou Tomita¹, Yiming Pan¹, tamaki nakayama¹, Itsuki Shinoda¹, Yasushi Shirai¹ (1.Hokkaido Univ.)

Keywords:

EUV light source,electron temperature,Thomson scattering

露光用EUV光源用プラズマの光源特性（発光強度やイオンエネルギー）はプラズマの基礎パラメータ（電子温度・密度等）で決定づけられるが、両者の包括的な計測はほとんど行われてない。固体スズターゲットにYAGレーザーを照射して生成したEUV光源プラズマの、光源特性とプラズマ諸量を一括計測した結果について報告する。