講演情報
[17a-K303-4]EUV光源用プラズマの電子温度・電子密度・発光強度・イオンエネルギー分布計測
〇富田 健太郎1、パン イーミン1、中山 珠樹1、篠田 樹1、白井 康司1 (1.北大院工)
キーワード：
EUV光源、電子温度、トムソン散乱計測
露光用EUV光源用プラズマの光源特性（発光強度やイオンエネルギー）はプラズマの基礎パラメータ（電子温度・密度等）で決定づけられるが、両者の包括的な計測はほとんど行われてない。固体スズターゲットにYAGレーザーを照射して生成したEUV光源プラズマの、光源特性とプラズマ諸量を一括計測した結果について報告する。