[17a-K303-1~11] 8.1 Plasma production and diagnostics

10:45 AM - 11:00 AM JST(1:45 AM - 2:00 AM UTC)

[17a-K303-7] Evaluation of the yield of hydrogen atoms emitted from ECR plasma by analysis of absorption spectroscopy

〇Yuya Inokuchi¹, Kazutaka Mitsui⁴, Toshiro Kasuya¹, Hidenori Takahashi⁴, Yoshihiro Yamada⁴, Takahiro Kenmotsu³, Shinichi Iwamoto⁴, Koichi Tanaka⁴, Motoi Wada² (1.Sci. & Eng. Doshisha Univ., 2.R&D Doshisha Univ., 3.Life & Med. Doshisha Univ., 4.Shimadzu Corporation)

Keywords:

Spectroscopy,Atomic absorption

クォーツ管外側に，導体リボンをスパイラル状に捲いた構造のECR放電管から放出される水素原子発光のバルマーα線スペクトルを高分解能分光器により測定した．チャンバー内に滞留する水素原子による吸収スペクトルが確認され，この吸光度による水素原子生成量の評価を行う．