講演情報
[17a-K303-7]ECRプラズマから放出される水素原子生成量の吸収スペクトル解析による評価
〇井ノ口 雄矢1、三井 一高4、粕谷 俊郎1、高橋 秀典4、山田 賢志4、剣持 貴弘3、岩本 慎一4、田中 耕一4、和田 元2 (1.同志社大院理工、2.同志社大院研開、3.同志社大生命、4.島津製作所)
キーワード：
分光、原子吸光
クォーツ管外側に，導体リボンをスパイラル状に捲いた構造のECR放電管から放出される水素原子発光のバルマーα線スペクトルを高分解能分光器により測定した．チャンバー内に滞留する水素原子による吸収スペクトルが確認され，この吸光度による水素原子生成量の評価を行う．