[17a-K502-1~9] CS.4 Code-sharing Session of 6.2 & KS.1

10:45 AM - 11:00 AM JST(1:45 AM - 2:00 AM UTC)

[17a-K502-7] Development of diamond ring resonator using quasi-isotropic etching

〇Daichi Nozaki¹, Ryota Katsumi^1,2, Yoshiko Noda¹, Kosuke Takada^1,2, Kenta Kawai¹, Daichi Sato¹, Takuto Itagaki¹, Takashi Yatsui^1,2 (1.TUT, 2.Univ. Tokyo)

Keywords:

diamond NV,quasi isotropic etching

ダイヤモンドNV中心は、次世代の固体量子磁気センサとして期待されている。一方で、ダイヤモンドの高い屈折率に起因したNV中心の発光取り出し効率の低下により、同センサによる磁気検出感度は、既存の磁気センサであるSQUIDなどと比較して数桁劣っている。この課題の解決策として、準等方性エッチング法を用いたリング構造の作製と他基板への集積化を行い、オンチップ動作を見据えたリング共振器の作製を検討したため報告する。