講演情報
[17a-K502-7]準等方性エッチングを用いたダイヤモンドリング共振器の開発
〇野崎 大地1、勝見 亮太1,2、野田 佳子1、高田 晃佑1,2、河合 健太1、佐藤 大地1、板垣 拓杜1、八井 崇1,2 (1.豊橋技科大、2.東京大学)
キーワード：
ダイヤモンドNV、準等方性エッチング
ダイヤモンドNV中心は、次世代の固体量子磁気センサとして期待されている。一方で、ダイヤモンドの高い屈折率に起因したNV中心の発光取り出し効率の低下により、同センサによる磁気検出感度は、既存の磁気センサであるSQUIDなどと比較して数桁劣っている。この課題の解決策として、準等方性エッチング法を用いたリング構造の作製と他基板への集積化を行い、オンチップ動作を見据えたリング共振器の作製を検討したため報告する。