[17a-K504-1~6] 6.4 Thin films and New materials

9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)

[17a-K504-1] Synthesis and fundamental properties of highly crystalline MgH₂ epitaxial thin films

〇(M2)Yuki Shimoman¹, Takuya Majima², Nobuyuki Matsuki³, Takayuki Harada⁴, Masaki Nakano¹, Hiroyuki Oguchi¹ (1.Shibaura Tech., 2.Kyoto Univ., 3.Kanagawa Univ., 4.NIMS)

Keywords:

hydride,infrared laser deposition,magnesium hydride

金属水素化物は、水素に由来する高温超伝導などの物性を示す機能性材料である。これらの機能性を高め、さらにデバイス応用への道を拓くため、我々はこの材料の高品質薄膜化に挑戦してきた。本研究では、これまで金属Mgが残留した低結晶性薄膜しか得られていないMgH₂に着目し、ラジカル水素の有効利用による残留Mgの減少および結晶性の向上を目指して、ラジカル水素の供給量と成膜レートとを変化させて成膜実験を行った。