[17a-K504-1~6] 6.4 薄膜新材料

9:30 〜 9:45

[17a-K504-1] 高結晶性MgH₂エピタキシャル薄膜の合成と基礎物性評価

〇(M2)下萬 祐暉¹、間嶋 拓也²、松木 伸行³、原田 尚之⁴、中野 匡規¹、大口 裕之¹ (1.芝浦工大理工、2.京大院工、3.神奈川大工、4.物材機構)

キーワード：

水素化物、赤外レーザー蒸着法、水素化マグネシウム

金属水素化物は、水素に由来する高温超伝導などの物性を示す機能性材料である。これらの機能性を高め、さらにデバイス応用への道を拓くため、我々はこの材料の高品質薄膜化に挑戦してきた。本研究では、これまで金属Mgが残留した低結晶性薄膜しか得られていないMgH₂に着目し、ラジカル水素の有効利用による残留Mgの減少および結晶性の向上を目指して、ラジカル水素の供給量と成膜レートとを変化させて成膜実験を行った。