[17p-K303-1~8] 8.1 Plasma production and diagnostics

3:30 PM - 3:45 PM JST(6:30 AM - 6:45 AM UTC)

[17p-K303-7] Real-time Analysis of Neutral species spectrum Using Machine Learning

〇(M1)Kotaro Takahashi¹, Yusuke Ando¹, Takayoshi Tsutsumi², Kenichi Inoue², Makoto Sekine², Masaru Hori², Kenji Ishikawa² (1.Nagoya Univ. Eng., 2.Nagoya Univ. Center for Low-temperature Plasma Sciences)

Keywords:

plasma process,machine learning

精密なプラズマプロセスの条件探索は非効率であるが、その原因の一つにプロセスに大きな影響を与えるプラズマ中の内部パラメータをリアルタイムで解析することが容易でない点が挙げられる。そこで、本研究においては機械学習を用いることにより内部パラメータの一つである中性種スペクトルのリアルタイム解析を行った。