講演情報
[17p-K303-7]機械学習を活用した中性種スペクトルのリアルタイム解析
〇(M1)高橋 康太朗1、安藤 悠介1、堤 隆嘉2、井上 健一2、関根 誠2、堀 勝2、石川 健治2 (1.名大院工、2.名大低温プラズマ科学研究センター)
キーワード：
プラズマプロセス、機械学習
精密なプラズマプロセスの条件探索は非効率であるが、その原因の一つにプロセスに大きな影響を与えるプラズマ中の内部パラメータをリアルタイムで解析することが容易でない点が挙げられる。そこで、本研究においては機械学習を用いることにより内部パラメータの一つである中性種スペクトルのリアルタイム解析を行った。