[17p-K406-1~8] 12.3 Functional Materials and Novel Devices

2:45 PM - 3:00 PM JST(5:45 AM - 6:00 AM UTC)

[17p-K406-7] Pressure Sensor using novel Ferroelectrets and Sharp-Switching FET Arrays

〇(M2)Ryoma Shuto¹, Yudai Baba¹, Satoru Inoue¹, Tatsuo Hasegawa¹ (1.U. Tokyo)

Keywords:

piezoelectric,ferroelectret

近年、ヒトの触覚機能を再現する力覚センサの開発が注目を集めている。今回、圧電d定数が500pC/Nを超えるフェロエレクトレットを作製し、またフォトリソグラフィによって高急峻FETのアレイ化に成功した。本発表では圧電体とFETの統合した圧力センサの動作について報告する。