講演情報
[17p-K406-7]新規フェロエレクトレットと高急峻 FET アレイによる圧力センサ開発
〇(M2)首藤 龍馬1、馬場 雄大1、井上 悟1、長谷川 達生1 (1.東大院工)
キーワード：
圧電体、フェロエレクトレット
近年、ヒトの触覚機能を再現する力覚センサの開発が注目を集めている。今回、圧電d定数が500pC/Nを超えるフェロエレクトレットを作製し、またフォトリソグラフィによって高急峻FETのアレイ化に成功した。本発表では圧電体とFETの統合した圧力センサの動作について報告する。