[15p-S4_203-1~16] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

5:00 PM - 5:15 PM JST(8:00 AM - 8:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[15p-S4_203-12] Impact of Si surface nanostructure on water boiling behavior

〇(B)Jun Onoe¹, Kantaro Kobayashi¹, Rikuto Enoki¹, Hiroaki Kakiuchi¹, Hiromasa Ohmi¹ (1.UOsaka)

Keywords:

Si,heat transfer

水沸騰を伴う伝熱は、気相変化を介して高い伝熱特性が得られるため、ボイラーや機器の冷却など広範に利用されている。今回、伝熱の特性の向上を目指して、高密度水素プラズマによってSi表面に形成されるナノ構造やその濡れ性が水の沸騰挙動に与える影響を調査した。その結果、水の濡れ性が良好なナノ構造表面を用いることで、平坦表面に比べて水/固体界面における伝熱特性が向上することが分かった。