講演情報

[15p-S4_203-12]Si表面上のナノ構造が水沸騰挙動に与える影響

〇(B)尾上 潤1、小林 幹太朗1、榎木 陸人1、垣内 弘章1、大参 宏昌1 (1.阪大院工)

キーワード:

シリコン、伝熱

水沸騰を伴う伝熱は、気相変化を介して高い伝熱特性が得られるため、ボイラーや機器の冷却など広範に利用されている。今回、伝熱の特性の向上を目指して、高密度水素プラズマによってSi表面に形成されるナノ構造やその濡れ性が水の沸騰挙動に与える影響を調査した。その結果、水の濡れ性が良好なナノ構造表面を用いることで、平坦表面に比べて水/固体界面における伝熱特性が向上することが分かった。