[15p-W8E_101-1~13] 13.3 Insulator technology

4:00 PM - 4:15 PM JST(7:00 AM - 7:15 AM UTC)

[15p-W8E_101-9] Reconsideration of SiO2 dielectric breakdown mechanism - a difference between dry- and wet- SiO2 -

〇Akira Toriumi¹ (1.None)

Keywords:

SiO2,dielectric breakdown,dry and wet SiO2

ドライ酸化膜とウェット酸化膜の絶縁破壊貴校に関する違いを議論する