[15p-W9_324-1~14] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

1:30 PM - 1:45 PM JST(4:30 AM - 4:45 AM UTC)

[15p-W9_324-1] [The 47th Young Scientist Award Speech] Rocksalt-structured MgZnO-based UV-C lamp Emitting in 190-220 nm spectral range

〇Kotaro Ogawa¹, Toshiki Mitomi¹, Hideki Yajima², Wataru Kosaka¹, Hiroya Kusaka¹, Go Kobayashi², Tomohiro Yamaguchi¹, Tohru Honda¹, Kentaro Kaneko³, Shizuo Fujita³, Izumi Serizawa², Takeyoshi Onuma¹ (1.Kogakuin Univ., 2.ORC Manufacturing, 3.Kyoto Univ.)

Keywords:

MgZnO,Mist CVD,Ultrawide Bandgap Semiconductor

岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛(RS-Mg_xZn_1-xO)は、バンドギャップ7.7 eVのMgOを起点として広範なバンドギャップ変調が可能であることから、真空紫外域における発光材料として注目される。本発表では、RS-MgZnOを発光層に用いたUV-Cランプの開発と発光特性を示すとともに、RS-Mg_0.97Zn_0.03O薄膜における外部量子効率を評価した結果について報告する。