[15p-W9_324-1~14] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

1:45 PM - 2:00 PM JST(4:45 AM - 5:00 AM UTC)

[15p-W9_324-2] Impact of Mist Supply Method on Growth of Rocksalt-Structured MgZnO Films in Metastable Phase Composition Range

〇Kyosuke Tanaka¹, Kotaro Ogawa¹, Tomohiro Yamaguchi¹, Tohru Honda¹, Takeyoshi Onuma¹ (1.Kogakuin Univ.)

Keywords:

Rocksalt-structured MgZnO,Mist CVD,Metastable phase

準安定相組成域における岩塩構造MgZnO薄膜のミストCVD成長を行った。従来の実験系と比較して、反応炉上流部の環境制御を行うことで安定相のウルツ鉱構造の成長を大幅に低減できることが分かった。