[15p-W9_324-1~14] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

13:45 〜 14:00

[15p-W9_324-2] 準安定相組成域の岩塩構造MgZnO薄膜成長におけるミスト供給方法が与える影響

〇田中 恭輔¹、小川 広太郎¹、山口 智広¹、本田 徹¹、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大)

キーワード：

岩塩構造MgZnO、ミストCVD、準安定相

準安定相組成域における岩塩構造MgZnO薄膜のミストCVD成長を行った。従来の実験系と比較して、反応炉上流部の環境制御を行うことで安定相のウルツ鉱構造の成長を大幅に低減できることが分かった。