[15p-WL2_401-1~13] 6.2 Carbon-based thin films

4:15 PM - 4:30 PM JST(7:15 AM - 7:30 AM UTC)

[15p-WL2_401-10] Effects of Solid Particle Attachment to Substrate Surfaces on CVD Single-Crystal Diamond Growth

〇Kaishu Nitta¹, Takehiro Shimaoka¹, Hideaki Yamada¹, Akiyoshi Chayahara¹, Nobuteru Tsubouchi¹, Yoshiaki Mokuno¹ (1.AIST)

Keywords:

diamond,plasma CVD,laser light scattering

ダイヤモンドの化学気相堆積(CVD)においてしばしば生じる異常成長粒子は、デバイス特性を低下させる問題となる。我々はレーザー光散乱により、CVD中の気相に固体粒子を検出し、異常成長粒子形成への関与を示唆してきた。本研究では、固体粒子のサイズに着目し、レーザー光散乱による検出下限評価と、既知サイズ粒子の付着時の成長影響の調査を通じて、異常成長粒子抑制に向けたレーザー光散乱の有用性を検討する。